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是一种通过油石高频小幅振荡进行研磨的传统机械加工工艺，以改善工件的表面质量为注要目的，在轴承、汽车、液压气动等许多行业有广泛应用，尤其是在轴承行业，目前是轴承内部工作表面的主要终加工工艺。
轴承超精又称为超精研，是一种微量磨削过程。对于高精度轴承，通常套圈滚动面和滚动体工作面都需要进行超精加工。超精加工有不同加工设备，加工原理也不尽相同，为了实现几何精度要求，表面质量要求，需要综合考虑设备、工装、油石、磨削液，甚至上到磨削工序轴承零件的状态。
在滚动轴承制造过程中，超精是轴承套圈加工的末尾工序，它对于减小或消除磨加工遗留的圆形偏差，修理沟道的形状误差，细化其表面粗糙度，改善表面物理机械性能，降低轴承的振动、噪声，提高轴承的寿命，有着重要作用，具体为：
1、能有效的减小波纹度。在超精研过程中，为了能够保证油石始终作用于波峰而不与波谷接触，油石与工件接触的圆弧≥工件表面波纹度的波长，这样一来，波峰的接触压力较大，凸峰就被切除，从而减少了波纹度。
2、改善球轴承滚道的沟形误差。超精研可以有效的改善30%左右滚道的沟形误差。
3、能使被超精研表面产生压应力。超精研过程中，主要产生冷塑性变形，从而使得超精研后，工件表面形成残余压应力。
4、能使套圈工作表面的接触面积增加。超精研后，套圈工作表面接触支承面积可由磨削后的15%～40%，增加到80%-95%。
轴承超精加工一般可分为三个阶段：1、轴承的切削阶段油石表面与滚道表面的粗糙凸峰相接触时，由于接触面积较小，单位面积上的受力较大，在一定压力作用下，油石首先受到轴承工件的“反切削”作用，使油石表面的部分磨粒脱落和碎裂，露出一些新的锋利的磨粒和刃边。同时，轴承工件的表面凸峰受到快速切削，通过切削与反切削的作用除去轴承工件表面上的凸峰和磨削变质层。这一阶段被称为切削阶段，在这个阶段切除了大部分的金属余量。
这时，油石与工件表面接触面积增加，单位面积上的压力降低，切削深度减小，切削能力减弱。
同时，油石表面的气孔被堵塞，油石处于半切削状态。这一阶段被称为轴承精加工的半切削阶段，在半切削阶段轴承工件表面切削痕迹变浅，并出现较暗的光泽。
3、轴承的光整阶段这个阶段可分为二步：一是研磨过渡阶段；二是停止切削后的研磨阶段。研磨过渡阶段：磨粒自锐减少，磨粒刃棱被磨平，切屑氧化物开始嵌入油石空隙，磨粒粉末堵塞油石气孔，使磨粒只能微弱切削，伴有挤压和研光作用，这时工件表面粗糙度很快降低，油石表面有黑色切屑氧化物附着。停止切削研磨阶段：油石和工件相互摩擦已很光滑，接触面积大大增加，压强下降，磨粒已不能穿破油膜与工件接触，当支承面的油膜压力与油石压力相平衡时，油石被浮起。其间形成油膜，这时已不起切削作用。这个阶段为超精加工所特有的。
